超純水是半導(dǎo)體、精密電子制造等領(lǐng)域的核心工藝介質(zhì)，水質(zhì)潔凈度直接關(guān)聯(lián)制程穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。超純水在制備、儲(chǔ)存、輸送全過程中，易因?yàn)V芯損耗、管道析出、環(huán)境浮塵等因素混入微納米級(jí)固體顆粒，這類微小污染物無法通過電阻率、電導(dǎo)率等常規(guī)水質(zhì)指標(biāo)檢出，僅能依托專業(yè)顆粒檢測(cè)設(shè)備完成量化監(jiān)測(cè)。雙激光微納米顆粒檢測(cè)技術(shù)的落地應(yīng)用，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)單激光檢測(cè)設(shè)備在微小顆粒識(shí)別、抗干擾能力上的短板，成為當(dāng)下超純水水質(zhì)管控的主流技術(shù)方案。普洛帝PMT-2超純水版顆粒計(jì)數(shù)器，依托專屬雙激光檢測(cè)架構(gòu)與適配純水介質(zhì)的硬件設(shè)計(jì)，針對(duì)性匹配超純水微量顆粒檢測(cè)需求，廣泛適配半導(dǎo)體全流程水質(zhì)監(jiān)測(cè)場(chǎng)景。

超純水檢測(cè)意義

半導(dǎo)體制造對(duì)超純水純度有著嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)，芯片蝕刻、晶圓清洗、光刻等核心工序，均以超純水作為清洗、溶劑介質(zhì)。水體中存在的0.1μm及以上微納米顆粒，會(huì)附著在晶圓表面，造成電路短路、圖案缺陷、鍍膜不均等問題，大幅降低芯片良品率。不同于普通工業(yè)用水，超純水雜質(zhì)含量極低，污染物以微量超細(xì)顆粒為主，常規(guī)水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備僅能監(jiān)測(cè)離子、有機(jī)物等指標(biāo)，無法捕捉懸浮固體顆粒。

常態(tài)化顆粒檢測(cè)可實(shí)時(shí)掌握超純水制備系統(tǒng)、輸送管路、儲(chǔ)水系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)濾芯老化、管道污染、設(shè)備滲漏等潛在問題，保障制程用水水質(zhì)穩(wěn)定。在半導(dǎo)體規(guī)模化生產(chǎn)中，穩(wěn)定的超純水潔凈度管控，能夠減少制程異常波動(dòng)，降低生產(chǎn)損耗，為精密制造流程提供基礎(chǔ)水質(zhì)保障，契合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)管控要求。

技術(shù)原理

普洛帝PMT-2超純水版搭載第八代雙激光窄光檢測(cè)器，采用雙光路協(xié)同檢測(cè)架構(gòu)，基于光阻法檢測(cè)原理完成微納米顆粒計(jì)數(shù)與粒徑分析。設(shè)備兩組激光發(fā)射組件輸出穩(wěn)定窄光束，交叉穿透超純水樣品流通區(qū)域，形成固定檢測(cè)傳感區(qū)域。當(dāng)水體中的懸浮顆粒隨水樣勻速通過檢測(cè)區(qū)域時(shí)，會(huì)遮擋對(duì)應(yīng)光路光束，造成光信號(hào)強(qiáng)度衰減。

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體晶圓制造是該設(shè)備的核心應(yīng)用場(chǎng)景，可用于12英寸、8英寸晶圓產(chǎn)線的超純水終端水質(zhì)監(jiān)測(cè)，覆蓋EDI純水系統(tǒng)、拋光混床、終端輸送管路等關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)制程用水中微顆粒含量，保障晶圓清洗、蝕刻、光刻等工序的水質(zhì)達(dá)標(biāo)。在半導(dǎo)體封裝測(cè)試環(huán)節(jié)，設(shè)備可監(jiān)測(cè)清洗超純水的潔凈度，避免顆粒雜質(zhì)附著芯片引腳、封裝基材，影響產(chǎn)品封裝品質(zhì)。

同時(shí)，設(shè)備可適配半導(dǎo)體純水制備車間的日常質(zhì)控工作，用于新設(shè)備調(diào)試、濾芯更換前后的水質(zhì)對(duì)比檢測(cè)，輔助工作人員評(píng)估純水系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)。此外，在半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室水質(zhì)檢測(cè)、光伏半導(dǎo)體材料制備等關(guān)聯(lián)場(chǎng)景，該設(shè)備也可完成超純水顆粒污染度檢測(cè)，滿足精密制造領(lǐng)域的水質(zhì)管控需求。設(shè)備檢測(cè)數(shù)據(jù)可一鍵導(dǎo)出，用于制程追溯與濾芯性能驗(yàn)證，適配工業(yè)化批量生產(chǎn)的質(zhì)控管理流程。

依托雙激光檢測(cè)技術(shù)的穩(wěn)定表現(xiàn)與純水專屬適配設(shè)計(jì)，普洛帝PMT-2超純水版顆粒計(jì)數(shù)器能夠精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體行業(yè)超純水微量顆粒檢測(cè)的核心需求，解決傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備抗干擾弱、微小顆粒識(shí)別不足的問題，為半導(dǎo)體制程水質(zhì)穩(wěn)定管控提供可靠的設(shè)備支撐，助力精密制造行業(yè)水質(zhì)質(zhì)控體系的規(guī)范化落地。