半導(dǎo)體電子制造產(chǎn)線管控 普洛帝 PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)超純水微小顆粒完整應(yīng)用說(shuō)明超純水是芯片制造、PCB 加工、光學(xué)元件清洗環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)工藝介質(zhì)，水體內(nèi)部微米、亞微米級(jí)固體顆粒會(huì)直接劃傷晶圓表面、造成線路短路，大幅降低電子產(chǎn)品良品率。行業(yè)對(duì)超純水雜質(zhì)管控標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛，常規(guī)目視、簡(jiǎn)易過(guò)濾稱重方式無(wú)法精準(zhǔn)量化微小顆粒含量，普洛帝 PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器依靠光阻檢測(cè)原理，能夠穩(wěn)定捕捉水體內(nèi)部微量懸浮顆粒，成為超純水制程常態(tài)化監(jiān)測(cè)的核心設(shè)備。

電子行業(yè)超純水制備分為多級(jí)過(guò)濾、EDI 提純、終端輸送管路三大環(huán)節(jié)，每一段流程都可能產(chǎn)生顆粒污染。過(guò)濾濾芯老化破損會(huì)釋放濾材碎屑，輸送管道內(nèi)壁析出微量雜質(zhì)，儲(chǔ)罐靜置過(guò)程會(huì)落入空氣中粉塵，這類細(xì)微污染物無(wú)法通過(guò)常規(guī)水質(zhì)電導(dǎo)、電阻率指標(biāo)體現(xiàn)，只能依靠顆粒計(jì)數(shù)設(shè)備量化。普洛帝 PMT-2 流通池采用高透光惰性材質(zhì)，適配純水基介質(zhì)檢測(cè)，不會(huì)與水體發(fā)生反應(yīng)析出雜質(zhì)，避免干擾樣品真實(shí)檢測(cè)結(jié)果。

產(chǎn)線日常監(jiān)測(cè)分為離線取樣檢測(cè)與在線連續(xù)監(jiān)測(cè)兩種模式。離線檢測(cè)時(shí)工作人員使用潔凈取樣容器采集終端出水口超純水，直接送入儀器檢測(cè)，設(shè)備可區(qū)分不同粒徑顆粒數(shù)量，同步輸出顆粒分布數(shù)據(jù)，工作人員依據(jù)數(shù)值判斷濾芯是否失效、管路是否存在積垢污染。在線機(jī)型可直接接入純水輸送管道，24 小時(shí)不間斷自動(dòng)取樣檢測(cè)，實(shí)時(shí)推送顆粒數(shù)據(jù)，一旦顆粒數(shù)值超出管控閾值，可聯(lián)動(dòng)過(guò)濾系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)沖洗程序，及時(shí)攔截污染水體流入生產(chǎn)工序。

超純水對(duì)檢測(cè)器具本底潔凈度要求，取樣、盛裝容器需經(jīng)過(guò)多道超純水沖洗，消除容器自帶顆粒帶來(lái)的數(shù)據(jù)偏差。普洛帝 PMT-2 自帶自動(dòng)清洗程序，每次檢測(cè)完成后用高純純水沖刷內(nèi)部管路，杜絕前后樣品交叉污染，保障多批次水樣檢測(cè)數(shù)據(jù)具備可比性。長(zhǎng)期持續(xù)監(jiān)測(cè)超純水顆粒指標(biāo)，能夠提前預(yù)判過(guò)濾耗材更換周期，減少因水質(zhì)不達(dá)標(biāo)造成的晶圓報(bào)廢，穩(wěn)定半導(dǎo)體生產(chǎn)線整體良率，純水制備全流程質(zhì)量管控體系。